一塔半導(dǎo)體（安徽）有限公司，專(zhuān)注于半導(dǎo)體先進(jìn)制程設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)及銷(xiāo)售，產(chǎn)研基地分別位于合肥經(jīng)開(kāi)區(qū)和浙江德清（瑤光半導(dǎo)體）。公司已成功正向研制外延生長(zhǎng)系統(tǒng)（MOCVD）和退火系統(tǒng)（RTP及激光退火），并實(shí)現(xiàn)了多項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù)方案的專(zhuān)利申請(qǐng)與應(yīng)用，涵蓋自主研發(fā)的SiC/GaN外延生長(zhǎng)技術(shù)，快速熱處理/熱氧化/熱氮化（RTA/RTO/RTN）技術(shù)，以及功率芯片背面激光退火、金屬合金等系統(tǒng)解決方案。目前，公司已獲得多項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利授權(quán)，設(shè)備性能在業(yè)界處于先進(jìn)水平。ETA-semitech始終堅(jiān)持全流程正向研發(fā)，不斷追求創(chuàng)新，致力于助力合作伙伴實(shí)現(xiàn)其愿景